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序號 |
故障原因 |
產生原因 |
原因以及排除方法 |
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1 |
蝕刻深度不夠 |
蝕刻溫度太低 |
加溫蝕刻液 |
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蝕刻時間太短 |
適當延長蝕刻時間 |
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蝕刻溶液老化，濃度低 |
增加新的蝕刻液 |
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2 |
防蝕層脫落 |
蝕刻液溫度太高 |
降低蝕刻液溫度 |
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防蝕層制作不良 |
加強蝕刻制作管理 |
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油墨存放時間過長，失效 |
更換新油墨 |
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二次曝光時間太短 |
延長二次曝光時間 |
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顯影后烘烤溫度太低或時間太短 |
提高烘烤溫度或延長時間 |
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預處理不良 |
加強質量管理 |
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3 |
防蝕層邊緣變脆起層 |
二次曝光時間太長 |
適當縮短二次曝光時間 |
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4 |
蝕刻表面有印跡 |
酸洗溶液氟化物含量不夠 |
添加氟化物 |
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酸洗時間太短 |
延長酸洗時間 |
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蝕刻溶液失調 |
分析蝕刻溶液 |
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材料質量原因 |
更換材料 |
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5 |
平滑度差 |
雜質含量太高 |
更換溶液 |
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三氯化鐵質量差 |
選擇質量好的三氯化鐵 |
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活化不良 |
加強活化過程 |
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添加劑含量不足 |
定期補加添加劑 |
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氯離子濃度太高 |
添加硝酸或硝酸氨 |
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磷酸離子濃度低 |
添加磷酸 |
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材料晶粒粗大 |
更換材料 |
